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聚合物微纳光子器件的飞秒激光制备及研究
论文摘要电子技术自诞生以来就以超快的速率发展,并引领了人类历史的第三次工业革命,给人类的生产和生活带来了翻天覆地的变化。然而近些年来,随着集成电路器件尺寸的进一步减小和集成密度...