基底温度论文

射频反应磁控溅射生长ZAO薄膜的光电性质
论文摘要采用RF反应磁控溅射技术在不同制备条件下制备了Al掺杂ZnO薄膜（ZAO）,研究了不同条件下ZAO薄膜的光电性质。结果表明,薄膜电阻主要由晶界电阻决定,且导电性随Ar∶...