接触式轮廓仪论文

基于Q-type非球面的光学系统关键技术研究
论文摘要非球面比球面能更好地校正像差,简化系统结构,在光学系统中得到了广泛的应用。目前有多种非球面的描述方式,但无论是Zemax软件还是非球面轮廓仪中,最常用的还是幂级数多项式...