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接触式扫描论文
接触式扫描论文
基于原子力显微镜动力学模型的新型接触式扫描成像策略(英文)
论文摘要面向高速高精度原子力显微镜(AFM)的扫描成像策略是当今微纳米控制领域的热点问题.本文设计了一种新型的原子力显微镜接触式扫描算法,该算法充分挖掘了AFM压电陶瓷运动平台...