结构光照明显微镜论文

基于结构光照明的表面形貌测量系统的研究
论文摘要表面形貌是制造产品和科学研究样件的重要几何特征,其测量、分析与评定对表面功能质量特性保证具有重要意义。结构光照明显微测量技术基于宽场显微成像原理,使用结构光对被测表面或...