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SiC/SiO2界面态电荷对SiC MOSFET短路特性影响的研究
论文摘要碳化硅/二氧化硅(SiC/SiO2)界面态电荷数量的减少有利于降低碳化硅金属-氧化物-半导体场效应晶体管(SiCMOSFET)的通态电阻和开关损耗,然而沟道电流的提升会...