节能能耗论文

多晶硅还原炉系统余热回收利用
论文摘要高纯的SiHCl3与H2在还原炉内1100℃左右高温下发生化学气相沉积反应,在硅芯上沉积而生成多晶硅,还原炉是多晶硅生产中电耗最高的设备,本文通过利用高温热水对还原炉的...