• 基于激光干涉的传感器非线性误差标定研究

    基于激光干涉的传感器非线性误差标定研究

    论文摘要利用传统方法对传感器进行误差标定时,未考虑传感器位移信息的测量和处理,导致非线性误差标定结果误差大、标定效果差,针对该问题,提出一种基于激光干涉的传感器非线性误差标定方...
  • 超磁致伸缩作动器激光干涉位移测量系统

    超磁致伸缩作动器激光干涉位移测量系统

    论文摘要由于超磁致伸缩作动器的位移在微米级,对其精确测量至关重要,针对激光干涉测量技术中分立元件迈克尔逊激光干涉仪存在环境要求高、调整烦琐和易受干扰等缺点,采用全光纤迈克尔逊干...
  • 基于透射式激光空气隙干涉的纳米分辨率精密位移测量

    基于透射式激光空气隙干涉的纳米分辨率精密位移测量

    论文摘要基于透射式激光空气隙干涉原理,建立微位移测量系统,实现纳米分辨率的物体微小位移测量。利用外加微小位移并将前后光强度相减的图像处理方法,有效地提高激光干涉图像的信噪比,将...