• 不同模式纳秒激光诱导单晶硅损伤特性研究

    不同模式纳秒激光诱导单晶硅损伤特性研究

    论文摘要采用1064nm激光器在单纵模和多纵模模式下对单晶硅材料的损伤特性进行研究,测试和分析单晶硅损伤阈值和损伤形貌差异,损伤机理以及激光模式对周期性结构的影响。结果表明,激...