金刚石薄膜论文
![硼及其协同掺杂金刚石薄膜的研究]()
硼及其协同掺杂金刚石薄膜的研究
论文摘要在金刚石中掺入杂质元素会在保留其原有优良性能的基础上获得其他性能,如掺入硼元素可以使金刚石成为P型半导体;协同掺杂其他元素可以改善金刚石的电学性能、催化活性等,甚至可以...![915 MHz高功率MPCVD装置制备大面积高品质金刚石膜]()
915 MHz高功率MPCVD装置制备大面积高品质金刚石膜
论文摘要采用自行研制的915MHz/75kW高功率微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）装置,在输入功率60kW,沉积气压20kPa的条件下制备了直径5英寸的大面积自支撑金刚石...![硬质合金气态渗硼预处理及其对金刚石薄膜附着性能的影响]()
硬质合金气态渗硼预处理及其对金刚石薄膜附着性能的影响
论文摘要目的保持硬质合金预处理后基体的强度和表面光洁度,并且提升沉积的金刚石薄膜的膜基结合力。方法使用真空管式炉设备对硬质合金进行真空热处理气态渗硼,然后使用热丝化学气相沉积系...![金刚石薄膜制备方法与应用的研究现状]()
金刚石薄膜制备方法与应用的研究现状
论文摘要金刚石薄膜由于具有良好的耐磨性能以及极高的硬度,其制备与应用受到研究者广泛关注。目前,金刚石的制备方法总体分为两个部分,其一为高温高压法,另一个则为化学气相沉积法。而目...![金刚石涂层刀具的制备及其切削性能研究]()
金刚石涂层刀具的制备及其切削性能研究
论文摘要利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在硬质合金立铣刀上沉积金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对制备的薄膜进行表征,并利用制备的涂层铣刀和未涂层的硬质合金铣刀进行...
