金刚石热沉论文

CVD金刚石热沉封装高功率半导体激光器的热特性
论文摘要本文以自支撑CVD金刚石膜作为半导体激光器线阵的封装热沉,从而改进其热特性。首先,以电子辅助化学气相沉积（EACVD）制备自支撑金刚石膜。在沉积工艺中,提出了优化O2流...