金刚石线锯论文

论文摘要针对毫米级尺度线径和微米级尺度磨粒的金刚石线锯整周三维表面形貌测量难以实现与定量评价问题,提出一种基于轮廓法的圆周扫描表面磨粒形貌测量与分析方法。通过显微测量系统沿周向...

论文摘要采用不同上砂位置的悬浮上砂电镀金刚石线锯对单晶硅进行锯切试验,记录锯切时间,计算锯切效率,对比不同上砂位置锯丝的锯切性能。用扫描电镜对锯丝上砂及磨损情况进行观测,用表面...

论文摘要随着电子芯片行业的高速发展,对单晶硅切片的效率和质量要求同时大幅提升,现有锯切工艺已无法满足要求。目前大量学者通过试验研究发现了超声振动辅助金刚石线锯对于切割硬脆材料具...