精密研磨论文

蓝宝石衬底精密研磨加工实验研究
论文摘要为了实现对蓝宝石晶体的高效低损伤研磨加工,对蓝宝石晶体的精密研磨加工表面粗糙度、去除率进行试验研究。采用不同粒度碳化硼磨粒双面研磨晶体,考察了研磨盘转速、加载下压力和研...