晶圆键合论文

单晶铌酸锂薄膜的转移制备技术研究
论文摘要以苯并环丁烯（Benzocyclobutene,BCB）作为键合层,采用离子注入剥离技术制备了Y36切型的单晶铌酸锂薄膜材料。经过对BCB键合层的前烘时间和退火曲线进行...