镜组准直论文

基于镜组准直的激光干涉仪快速对光方法研究
论文摘要为了解决激光干涉仪使用时激光光路准直调整比较费时的问题,在对激光干涉仪位置测量原理和测量误差进行分析的基础上,通过反复比较验证,提出了一种基于镜组准直的快速对光方法。实...