金属铂丝论文

基于热敏感的MEMS矢量水听器机理研究
论文摘要本文提出了一种用加热金属铂丝作为敏感单元的MEMS矢量水听器设计原理,该水听器主要用于测量声场质点振速信号。针对水听器灵敏度等性能优化难点问题,探讨其声-热-电多物理场...