金属辅助化学刻蚀法论文

一步纳米银催化刻蚀法制备多孔硅纳米线阵列
论文摘要通过采用一步纳米金属颗粒辅助化学刻蚀法（MACE）成功制备了多孔硅纳米线,并主要研究了硅片掺杂浓度、氧化剂AgNO3浓度以及HF浓度对硅纳米线阵列形貌结构的影响规律.研...