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反应动力学法评价MOCVD过程中金属前驱盐的稳定性(英文)
论文摘要基于MOCVD法制备YBCO超导体过程中常用的、具有不同蒸发特性的3种金属前驱盐(Y(DPM)3,Cu(DPM)2,Ba(DPM)2),采用非等温热重分析法对比研究3种...