金属有机化学气相沉积论文

窄流道式MOCVD制备YGBCO超导层研究
论文摘要金属有机化学气相沉积能连续、快速的沉积高温超导带材YBa2Cu3O7-x（YBCO）超导层。但金属有机源的利用率与薄膜沉积速率以及沉积一致性难以兼顾,制备YBCO高温超...
三层热壁金属有机化学气相外延流场计算机模拟
论文摘要本文对三层热壁水平流金属有机化学气相沉积(MOCVD)真空反应腔的设计以及最终流场分布都进行了理论模拟。在选择优化喷管排布基础上,在衬底托盘、衬底四周底壁,以及衬底所在...