基体负偏压论文

基体负偏压及占空比对电弧离子镀CrN薄膜表面大颗粒和厚度的影响
论文摘要采用电弧离子镀技术在Si基体上沉积了CrN薄膜。利用扫描电镜观察薄膜的表面和截面形貌,通过Image-ProPlus图像处理软件统计扫描电镜图像中大颗粒所占比例及密度。...