机械抛光论文

碳化硅超声-电化学机械抛光试验研究
论文摘要为探究超硬脆碳化硅（SiC）材料的高效研抛方法,分别应用铸铁抛光盘、聚氨酯抛光盘、半固结磨粒抛光盘在自来水、KOH溶液、芬顿反应液3种研抛液中通过控制变量法对SiC进行...