局部结构误差论文

矩形光栅局部结构误差对衍射效率的影响
论文摘要为了提高高光谱遥感技术的分析精度,利用标量衍射理论,对矩形光栅局部结构误差的衍射效率进行了分析,并计算了光栅局部周期和缝宽误差对衍射效率的影响。结果表明,当加工误差使得...