绝缘硅论文

一种新型无机微晶驻极体材料SiO2-Ta2O5-B2O3-RO的制备与研究
论文摘要通过成分选择与匹配,运用高温熔凝工艺在单晶硅片上制备成功SiO2-Ta2O5-B2O3-RO无机复合材料驻极体,实验显示:该材料为微晶结构,具有～2000级别的介电常数...