锯丝磨损与损伤论文

悬浮上砂金刚石线锯的锯切性能试验分析
论文摘要采用不同上砂位置的悬浮上砂电镀金刚石线锯对单晶硅进行锯切试验,记录锯切时间,计算锯切效率,对比不同上砂位置锯丝的锯切性能。用扫描电镜对锯丝上砂及磨损情况进行观测,用表面...