• 磁控共溅射法在聚碳酸酯柔性基底镀TiN研究

    磁控共溅射法在聚碳酸酯柔性基底镀TiN研究

    论文摘要在较低的温度下,采用磁控溅射工艺在聚碳酸酯(PC)表面制备了TiN薄膜。应用激光共聚焦显微镜(CLSM)和X射线衍射仪(XRD)等研究了薄膜制备工艺对薄膜的表面微观形貌...