抗反射论文

微纳结构A-TiO2/P-Si的构筑及其性能研究
论文摘要为了提高对单晶硅的光学利用率,本文通过碱液刻蚀得到硅锥结构,在其表面包覆TiO2薄膜,得到微纳结构A-TiO2/P-Si。通过反射光谱对其进行抗反射性能表征,发现该结构...