抗积分饱和论文

ArF准分子激光器温度控制系统设计与实现
论文摘要ArF准分子激光器被广泛应用于科研、医疗和工业领域,其激光性能与放电腔温度密切相关。为了实现温度控制的高精度和高稳定性,本文重点研究温度控制系统的结构及其算法,设计了一...