空心阴极论文

静电聚焦空心阴极离子枪研究
论文摘要近年来,随着半导体工业和微细加工行业快速发展,聚焦离子束因其优异的性能得到行业的广泛认可。离子束穿过固体时有很强的直进性,也因此在微细加工性能上优于电子束与激光束。目前...
离子电推进技术的发展现状与未来
论文摘要离子电推进是最具代表性和技术成熟度的电推进技术类型之一。本文从放电室技术、离子光学系统技术、放电阴极和中和器阴极技术的优势、缺憾等方面,总结了离子电推进的技术发展现状。...