拉晶炉论文

新型拉晶炉在硅芯制备中的应用
论文摘要介绍了一种新型拉晶炉,采用直拉法拉制大直径硅棒,然后切割成方硅芯。该种拉晶炉一次性出硅芯数量多,弯曲度可控,表面附着力强,可大幅提高硅芯的生产效率。论文目录0引言1新型...