蓝宝石衬底论文

物理气相传输法制备层状MoS2薄膜
论文摘要以化学气相沉积（CVD）方法在蓝宝石衬底上沉积一层较厚的MoS2膜作为前驱体,使用物理气相传输（PVT）方法制备了层状MoS2薄膜。用光学显微镜、扫描电子显微镜、喇曼光...
蜂窝状结构半固结磨料研磨盘的制备及应用
论文摘要针对传统半固结研磨盘由于盘面较软使得加工衬底面形精度难以保证的问题,提出一种蜂窝状结构的半固结磨料研磨盘的设计与制备方法。该研磨盘采用环氧树脂蜂窝结构作为支撑"...