朗缪尔探针论文

尘埃对直流辉光放电等离子体参数影响
论文摘要自从九十年代在空间等离子体和等离子体处理实验中发现尘埃颗粒,尘埃等离子体目前越来越受研究者的青睐。尘埃颗粒在等离子体技术应用中起着非常重要的作用,对半导体加工中的等离子...