连续逐层沉积论文

论文摘要采用射频（RF）磁控溅射在室温下连续逐层沉积,然后在95%Ar+5%H2混合气氛中进行500℃低温退火制备了Ag/MoS2和Ag/BN/MoS2纳米薄膜,采用拉曼光谱（...