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离焦量论文
离焦量论文
光谱共焦位移传感器镜头设计
论文摘要光谱共焦位移传感器是一种以波长信息反映位移变化的非接触式光电位移传感器,色散镜头是传感器重要组成部分,其轴向色散与波长之间的线性度和色散范围会影响系统整体性能。为产生较...