立体螺旋线圈论文

立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究
论文摘要介绍了一种电感耦合等离子体(InductivelyCoupledPlasma,ICP)光谱激发源,该激发源采用微结构立体螺旋线圈。实验以氩气作为实验气体,采用以立体螺旋...