离子枪论文

静电聚焦空心阴极离子枪研究
论文摘要近年来,随着半导体工业和微细加工行业快速发展,聚焦离子束因其优异的性能得到行业的广泛认可。离子束穿过固体时有很强的直进性,也因此在微细加工性能上优于电子束与激光束。目前...