离子束溅射论文

二维热传导方程在高能脉冲离子束溅射中的应用
论文摘要本文基于能量守恒定律和傅里叶定律,建立了一种非常简单而直观的二维热传导物理模型。以工程上熔石英光学元件的氩离子束溅射为切入点,采用时域有限差分法数值计算了熔石英内部温度...