离子注入技术论文

Sb掺杂ZnO单晶薄膜的结构和光学性能研究
论文摘要采用射频等离子体辅助分子束外延法制备高品质ZnO单晶薄膜,利用离子注入技术向ZnO单晶薄膜中注入不同注量的Sb离子,并对样品进行了氧气氛退火处理.利用高分辨双晶X射线衍...