罗茨真空泵论文

晶圆FAB厂罗茨真空泵用永磁电机研发设计与实验
论文摘要为满足在晶圆FAB厂内使用罗茨真空泵的工程需求及性能要求,本文设计了一台1.5kW小体积高速永磁同步电机并将其作为罗茨真空泵用驱动电机。采用多极少槽的极槽配合方案,减少...