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激光干涉仪在FANUC数控机床位置精度检测中的应用
论文摘要本文探讨了RenishawXL-80激光干涉仪在FANUC数控机床位置精度检测中的应用,论述了运用激光干涉仪测量和补偿FANUC系统数控机床的螺距误差及反向间隙的具体方...