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基于ALOHA的面板企业干法刻蚀工艺特气泄漏事故模拟研究
论文摘要面板企业在制程过程中使用的特种气体泄漏后极有可能发生火灾、爆炸、中毒等严重事故,尤其是洁净厂房环境复杂,易发生二次灾害,为应急处置和救援带来很大困难。文章以国内某面板企...