面形测量论文

平面绝对检测闭环自检实验研究
论文摘要基于AiC和WyantJC的奇偶函数法,提出了4步旋转绝对检测方法,减少了旋转次数,将第二次测量的旋转角度选为90°。实验基于HOOLL9600A-HS3干涉仪,采用4...