脉冲直流磁控溅射论文

三靶共溅射纳米复合Cr-Al-Si-N涂层的制备及摩擦学性能研究
论文摘要目的利用高功率脉冲磁控溅射技术离化率高、溅射离子能量高等优点,在Cr-Al-N涂层中添加Si元素研制a-Si3N4包裹nc-（Cr,Al）N的纳米复合涂层,通过改变反应...