脉宽参量论文

基于脉宽参量的TiN纳米晶薄膜制备及其性能?
论文摘要采用大功率脉冲溅射离子镀技术在不同脉宽条件下制备了一组TiN离子镀层,并通过XRD、SEM、AFM等手段对膜层的微观形貌、生长模式及相关力学性能进行了分析研究。结果表明...