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工作气压对氩射频电感耦合等离子体模式转换的影响
论文摘要采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:等离子体放电可以在E模式和H模式间相互转换,...
基于非对称耦合器的硅基波分复用器的研究
论文摘要伴随着物联网和云计算等新一代信息技术的兴起,信息时代在丰富人们生活的同时,也对通信容量和通信带宽的需求越来越高。在提高通信容量上,波分复用器作为片上复用系统的关键器件发...