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一种三维纳米定位台控制系统设计
论文摘要这篇文章描述了一种三维纳米定位台控制系统。本系统采用双处理器架构,将ARM在逻辑控制、人机交互的优势同FPGA硬件可编程、并行处理的优势互补,再搭载自行设计的高精度AD...