纳米多层论文

金属有机物分解法制备HfO2-ZrO2纳米多层薄膜及其铁电性能研究
论文摘要HfO2基铁电薄膜是一种环境友好型的铁电材料,具有尺寸可缩放性、与CMOS兼容性好等多方面优势,有望代替传统钙钛矿结构材料成为铁电存储器件的主要组成材料之一.近年来,已...