纳米多层膜论文

低转速下多弧离子镀制备的Mo-Ti-Al-N超晶格硬质涂层的微结构及背散射谱分析
论文摘要目的研究低基片转速对纳米多层膜微结构和性能的影响。方法采用阴极多弧离子镀技术在单晶硅基片上沉积制备了MoTiAlN/MoN/Mo纳米复合结构涂层,借助X射线衍射仪（XR...
(AlCrTiZrNb)N/Si3N4纳米多层膜的微观结构和力学性能研究
论文摘要采用多靶磁控溅射系统,使用AlCrTiZrNb合金靶和Si靶制备了不同Si3N4厚度的（AlCrTiZrNb）N/Si3N4纳米多层膜,样品基底为单晶硅。通过X射线衍射...