纳米级分辨率论文

一种具有纳米级步进特性的直线压电电机
论文摘要为实现纳米级的定位精度,通过精密控制电机定/动子间的正压力和相对运动速度,以实现电机在一个周期内的精密步进运动。首先,在研究电机步进运动原理的基础上,设计了具有法向振动...