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纳米位置控制系统自适应滤波器设计
论文摘要纳米位置控制系统由于其控制精度达到纳米级,因此合理选择数字滤波器类型,正确设计数字滤波器算法是保证纳米控制系统定位精度的重要因素,但现有用于纳米位置控制系统的噪声滤波器...