纳米压痕仪论文

李波欣[1]2004年在《薄膜厚度测量方法的研究与实现》文中研究说明随着社会经济的不断发展，有机薄膜作为一种功能材料，其应用越来越广泛，相应地薄膜的生产规模也不断扩大。在薄膜的生产过程中，其质量的监测一直是一个至关重要的环节。相应地，这也为检测技术的科学研究提供了广阔的开发空间。本文对当前常用的测量...